台積電預計極紫外光刻機累計採購量在明年將超過50台
2020年09月28日15:01

原標題:台積電預計極紫外光刻機累計採購量在明年將超過50台

【TechWeb】9月28日消息,據國外媒體報導,在8月份的全球技術論壇期間,台積電曾透露全球目前在運行的極紫外光刻機中,他們約有一半,產能則是預計占全球的60%。

台積電是從第二代的7nm工藝開始採用極紫外光刻機的,7nm之後的工藝,就將全部極紫外光刻機,隨著5nm工藝的大規模投產,他們對極紫外光刻機的需求也越來越大。

而消息人士透露,台積電正在加快研發極紫外光刻機工藝,他們預計到明年年底,極紫外光刻機的累計採購量將達到約55台。

阿斯麥是目前全球唯一能製造極紫外光刻機的廠商,台積電所需要的光刻機,也就全部來自於阿斯麥。

阿斯麥極紫外光刻機
阿斯麥極紫外光刻機

目前還不清楚台積電已經向阿斯麥採購了多少台極紫外光刻機,但從阿斯麥的年報來看,他們從2012年就已開始交付極紫外光刻機,到今年二季度結束時,他們已累計向用戶交付76台極紫外光刻機,按50%的比例計算,台積電目前擁有的極紫外光刻機,就是在38台左右。

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